Módulo de litografía por escritura directa por láser
Este sistema consiste en un laser de 405 nm controlado por computadora que “graba” o escribe sobre resinas fotosensensibles el patrón, que es introducido en el sistema de control. Es un sistema orientado al desarrollo y fabricación de sistemas por litografía óptica, siendo la herramienta fundamental para el área de microfabricacíon. Al ser un equipo de litografía directa no requiere la utilización de máscaras de litografía para el proceso. Simplemente se introduce el motivo o “dibujo” del sistema a fabricar en el equipo y este los translada a la muestra mediante litografía óptica. Esto permite moficar el diseño de acuerdo al resultado de las mediciones de manera rápida, reduciendo el tiempo de optimización para la fabricación de muestras y el prototipado de dispositivos. Tiene aplicaciones en todas las áreas de ingeniería y física en las cuales es importante reducir las dimensiones del sistema. Entre las áreas específicas de mayor impacto se encuentras la de ciencias de materiales, óptica, micro electrónica, desarrollo de sensores y dispositivos, propiedades mecánicas en la micro y nanoescala, modificación de superficies, etc.
Su principal aplicación es como módulo complementario de sistemas de exposición por UV como las alienadoras o módulos de iluminación ya que permite la fabricación de las máscaras que utilizan estos sitemas logrando unificar la gran versatilidad en el diseño de los sistemas que ofrece el sistema de escritura directa con las capacidades de los módulos de exposición UV.
Módulo de litografía optica por alienación con máscaras
Sistema de ilumicación UV que utiliza máscaras de litografía para transpasar el patrón de la misma a resinas fotosensibles, para el proceso de microfabricacíon, permitiendo reducir las dimensiones de los sistemas. El sistema posee una fuente de luz LED de 365 nm única en el mercado. A diferencia de las lámparas de mercurio de los sistemas existentes, no requiere de tiempo de calentamiento y enfriado para su utilización reduciendo notablemente la duración del proceso. El sistema posiciona la máscara de manera controlada sobre la muestra, variando la posicion relativa en el plano (traslación y rotación),permitiendo orientar y posicionar el patrón a grabar sobre un patron pre-existente en la muestra. Esto permite fabricar muestras o sistemas que requieren varios “pasos” o procesos sucesivos para su fabricación, permitiendo la fabricación de sistemas más complejos y estructuras 3D.
Su fuente de 365 nm permite el grabado de resinas tipo epoxy que se enduren durante el proceso permitiendo su aplicación en áreas como microfluídica, biotecnología y medicina. Entre las aplicaciones más relevantes esta el desarrollo de plataformas Lab-on-chip donde se combina la microfluídica con sensores para desarrollar plantillas inteligentes de sensado y control. El sistema tiene aplicaciones en el desarrollo de sensores, microambientes para el testeado de enfermedades y procesos biológicos, funcionalización de superficies, etc.
Su combinación con el equipo de litografía directa permite aprovechar el gran campo de aplicación que ofrece la alienadora con la gran versatilidad en el diseño de los sistemas que da la posibilidad de fabricar uno mismo las máscaras a utilizar.
Módulo de iluminación UV para microfabricación de alta exposición.
Sistema robusto de exposión UV para procesos de microfabricación con una fuente de luz LED de 365 nm, sin sistema de alineacíon y con un sistema rápido de carga de muestras y máscaras. Es un sistema simple muy robusto que permite la exposición de muestras y fabricación de sistemas donde no es necesario realizar una alineación del patrón a grabar. Esto permite que el sistema sea muy simple y rápido de utilizar, con un bajo mantenimiento. El sistema esta especialmente orientado a su utilización por estudiantes y la formación de recursos humanos en el área de microfabricación. Permite la realización de experiencias en física en áreas como óptica (fabricación de redes de difracción), modificación de superficies para el estudio de transferencia de calor, fabricacion y caracterización de dispositivos microelectronicos (microbobinas, microcapacitores, termometros, etc). Permite introducir a los estudiantes de manera interesante a diferentes fenomenos de la física e ingeniería, asi como en procesos de desarrollo tecnológico. El sistema permite además la fabricación rápida de dispositivos, permitiendo el escaleado a nivel semi-industrial de los sistemas desarrollados para su comercialización.