MUTECH MICROSYSTEMS

El proceso de litografía es la técnica básica para reducir el tamaño y la dimensión de los dispositivos, en el enfoque «top-down». Esta técnica es transversal a muchos campos de la física, la ingeniería y las biociencias, ampliando y consolidando las aplicaciones de microfabricación y nanotecnología. Durante el proceso de litografía, se transfiere un patrón a una resina fotosensible, recubierta por centrifugado sobre la muestra. A continuación, se construye la fotoresina eliminando las áreas expuestas (para fotosensibilidad positiva). Usando grabado químico o físico (por ejemplo, ataques iónicos o ácidos), se eliminan las áreas desprotegidas de la muestra y finalmente se transfiere el patrón deseado a la muestra.

El microexposer es un sistema robusto (estructura completamente metálica), especialmente diseñado para un uso fácil, bajos requisitos de mantenimiento y fabricación rápida de dispositivos monocapa. Se pueden solicitar portamuestras personalizados para muestras y sustratos especiales, como sustratos no planos o flexibles. El microexposer es ideal para escalar desde la fabricación de laboratorio hasta la producción comercial de bajo volumen.

Nuestro microLaser: Sistema de Litografía Láser Directa, permite al usuario fabricar sus propias máscaras ópticas, ofreciendo una mayor versatilidad. El sistema microexposer, como herramienta complementaria del microLaser, ofrece la posibilidad de trabajar con fotoresinas sensibles a 365 nm y obtener estructuras de alta relación de aspecto en el proceso de litografía. Estas características hacen que el conjunto de microexposer y microláser, sea la solución de bajo costo definitiva para la fabricación y el desarrollo rápidos de aplicaciones monocapa, incluidos los dispositivos biomédicos y de microfluidos.